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等離子清洗設(shè)備的保養(yǎng)-深圳金徠
來(lái)源: | 作者:深圳金徠 | 發(fā)布時(shí)間: 1689天前 | 2583 次瀏覽 | 分享到:

等離子清洗設(shè)備的保養(yǎng)

俗話說(shuō),工欲善其事,必先利其器,一個(gè)好的工具往往能讓工作事半功倍。又說(shuō):功夫再高也怕菜刀,機(jī)器再好也要保養(yǎng)。所以下面就為大家分享一些常見的保養(yǎng)事宜:

1、定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度,觀察油位視窗,油位接近最低紅線刻度時(shí),則添加到油紅標(biāo)線上下之間位置;觀察油的顏色,正常的油為清潔透明,當(dāng)油出現(xiàn)渾濁(油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清)、真空泵噪音異常,則及時(shí)更換真空油。

2、清洗反應(yīng)腔室

首先脫脂棉布沾無(wú)水乙醇(俗稱酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀察玻璃)真空腔體。

其次腔體導(dǎo)入(氬氣+氧氣)或(氮?dú)?氧氣),用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物。工作10分鐘,每月至少一次。

3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性.

定期檢查真空系統(tǒng)的完整性,這種檢查應(yīng)該在徹底的清洗反應(yīng)室之后,以避免污染物遺漏在腔體中。

定期檢查反應(yīng)腔體門密封條是不是松動(dòng)。檢查各管路是否連接緊固,老化等問(wèn)題。

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