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等離子清洗設備的保養(yǎng)-深圳金徠
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深圳金徠
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1689天前
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等離子清洗設備的保
養(yǎng)
俗話說,工欲善其事,必先利其器,一個好的工具往往能讓工作事半功倍。又說:功夫再高也怕菜刀,機器再好也要保養(yǎng)。所以下面就為大家分享一些常見的保養(yǎng)事宜:
1、定期檢查真空泵油
每月定期查看真空泵油位和油的純度,觀察油位視窗,油位接近最低紅線刻度時,則添加到油紅標線上下之間位置;觀察油的顏色,正常的油為清潔透明,當油出現渾濁(油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清)、真空泵噪音異常,則及時更換真空油。
2、清洗反應腔室
首先脫脂棉布沾無水乙醇(俗稱酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反應腔體觀察玻璃)真空腔體。
其次腔體導入(氬氣+氧氣)或(氮氣+氧氣),用等離子體清除腔體內殘余物。工作10分鐘,每月至少一次。
3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性.
定期檢查真空系統(tǒng)的完整性,這種檢查應該在徹底的清洗反應室之后,以避免污染物遺漏在腔體中。
定期檢查反應腔體門密封條是不是松動。檢查各管路是否連接緊固,老化等問題。
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